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半導体製造装置用パーツリペア

各種半導体製造装置用パーツのOEM OVERHAULを取り扱っております。装置名、パーツ番号でお問い合わせください。

 
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オリジナメーカーのOEM OVERHAULを行っております。OVERHAUL内容はお問い合わせください。
 
OEM OVERHAUL 【例】
▼Lam
・ESC TUNABLE COUL CNTR RF 300MM 
 P/N 839-019090-374
・ESC,TUNABLE,V2.3.300MM,HE HOLES IN
  P/N 839-019090-328  その他
    
▼AMAT
・Ultima ESC 200MM/300MM 
 P/N 0040-18053-005
  P/N  0040-18219-004  その他
 
▼AMAT
・200MM MCA ESC (High Temp)
   P/N  0190-21597-001  その他 
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取り扱い品のご案内

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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